光子集成電路（PICs）將電子和光子領(lǐng)域連接起來，結(jié)合了半導(dǎo)體材料和微電子制造過程，以及對光的編碼、傳輸和檢測，對于數(shù)據(jù)中心通信、自動駕駛中的LiDAR和量子計算等領(lǐng)域的發(fā)展具有重要意義。本次分享詳細(xì)展示了如何使用Silvaco Victory Process和Ansys Lumerical軟件進(jìn)行仿真以優(yōu)化器件設(shè)計。不同于Lumerical則專注于光學(xué)仿真，而Silvaco作為專業(yè)的電學(xué)仿真軟件，主要用于半導(dǎo)體的加工工藝和電學(xué)特性仿真。本案例將結(jié)合Silvaco在工藝仿真方面的優(yōu)勢和Lumerical在光學(xué)方面的優(yōu)勢，進(jìn)行聯(lián)合仿真，以實(shí)現(xiàn)最佳的器件設(shè)計。內(nèi)容大綱：
1、Silvaco的入門簡介及光子集成器件的加工及摻雜仿真2、Silvaco數(shù)據(jù)導(dǎo)入Lumerical的方法3、基于導(dǎo)入數(shù)據(jù)的光學(xué)及電學(xué)特性仿真
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